精機製品・技術レポート：高精度エアスライド

エアスライドは、静圧空気軸受を用いた直線案内で、スライド面の摩擦が極めて小さく、スティックスリップがない。そのため作動が非常にスムーズであり、高い真直度と位置決め精度が得られ、速度むらも少ない。また、発塵が少ないのでクリーンルームで使用される場合にも適している。
このような優れた特性から、従来の転がり案内では達成が困難な精度を必要とする各種の精密測定機器、あるいは、ますます高密度化、高精度化が進む半導体及び情報機器の製造装置、検査装置などに、エアスライドが使用される場合が多い。ＮＳＫでは、こうした要望に対応してエアスライドを開発し、製品化してきた。
ＮＳＫ標準形のエアスライドは、案内レールの支持方式が異なる2種類がある（図1）。A形はレール両端支持方式の最もシンプルな構造で軽荷重用に適している（図2）。B形は案内レールが全面支持されているので、負荷によるレールのたわみがなく重荷重用に適している（図3）。ＮＳＫエアスライドの特長を次に示す。