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真空環境用軸受

概要

真空環境用軸受はNSK特殊環境用軸受スペーシア™シリーズの基本製品で「腐食環境用」「クリーン環境用」「高温環境用」とそれぞれ使用環境に応じた製品があります。

真空環境用軸受

製品一覧

クリーングリース封入軸受(DL2グリース)

クリーングリース封入軸受(DL2グリース)

クリーングリース封入軸受(DL2グリース)

ステンレス軸受にフッ素系クリーングリースDL2を封入した軸受です。大気~真空のクリーン環境に適します。

特長

  1. グリースの飛散・発塵が少ないです。
  2. 耐熱性に優れます。

用途例

  1. 半導体製造装置
  2. 有機EL製造装置

ハイブリッド軸受

ハイブリッド軸受

ハイブリッド軸受

ハイブリッド軸受は、セラミック玉とフッ素系自己潤滑保持器を組合せた軸受です。大気~真空の腐食環境に適します。

特長

  1. グリースレスです。
  2. フッ素系保持器による固体潤滑品です。

用途例

  1. 真空搬送装置
  2. 検査装置

クリーン潤滑剤V-DFO、E-DFO軸受

クリーン潤滑剤V-DFO、E-DFO軸受

クリーン潤滑剤V-DFO、E-DFO軸受

DFO軸受は内外輪、玉、保持器に低蒸気圧炭化水素焼付け膜(E-DFO)、フッ素油焼付け膜(V-DFO)を形成させ、クリーンでかつ長寿命の特性を合せ持った、新しいコンセプトの軸受です。大気~真空のクリーン環境に適します。

特長

  1. クリーングリースよりも更に発塵が少ないです。
  2. アウトガスが少ないです。

用途例

  1. 半導体製造装置
  2. 有機EL製造装置

YSタイプスペーサ型高温軸受

YSタイプスペーサ型高温軸受

YSタイプスペーサ型高温軸受

高温用YSタイプ軸受は、転動体間に合金系自己潤滑材料(焼結合金)をスペーサに使用した軸受です。真空・高温環境に適します。

特長

  1. 真空、350℃までの高温で対応できます。
  2. 固体潤滑剤スペーサによる潤滑で、長寿命です。

用途例

  1. イオン注入装置
  2. スパッタ装置

SJタイプ高温用固体潤滑軸受

SJタイプ高温用固体潤滑軸受

SJタイプ高温用固体潤滑軸受

高温用SJタイプ軸受は、保持器のひとつのポケット内にある2個の転動体間に固体潤滑剤スペーサを配置した“さやえんどう”構造の軸受です。真空・高温環境に適します。

特長

  1. 真空および大気中の400℃までの高温で対応できます。
  2. 固体潤滑剤スペーサによる潤滑と、保持器で保持する構造で長寿命です。

用途例

  1. 炉内搬送装置
  2. フィルム製造高温装置

オールセラミック軸受(酸化物系セラミックス)

オールセラミック軸受(酸化物系セラミックス)

オールセラミック軸受(酸化物系セラミックス)

外・内輪、玉をセラミックス製とし、フッ素系自己潤滑保持器で潤滑作用を持たせた軸受です。大気~真空の腐食環境および非磁性環境に適します。

特長

  1. 最も耐食性に優れ、非磁性です。
  2. 耐摩耗性に優れ、長寿命です。

用途例

  1. 半導体製造装置
  2. 有機EL製造装置

よくある質問

  • 真空装置用のベアリングの購入方法を教えてください。
    • お近くの弊社販売店にお問い合わせください。

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