Press Release

NSKモノキャリア「超大リード静音MCMシリーズ」を発売

~ 一軸アクチュエータで 2,500 mm/秒超高速送りを実現 ~

NSKは、NSKモノキャリア「超大リード静音MCMシリーズ」の販売を開始します。

NSKモノキャリア「超大リード静音MCMシリーズ」

近年、送り系の高速化とともに、半導体・液晶製造装置では低発塵化への要求も高まってきています。これらのニーズに対応した一軸アクチュエータとして、新たに「超大リード静音MCMシリーズ」をラインナップしました。
NSKは本製品を2008年4月16日(水)~18日(金)に幕張メッセにて開催される「 第17回モーション・エンジニアリング展 」に出品します。NSKは2008年7月から本製品の販売を開始し、2010年に5億円の売上を目指します。

NSKモノキャリア「超大リード静音MCMシリーズ」の特長は以下の通りです。

【製品の特長】

2,500mm/秒 高速送り
NSK独自の高速・静音ボールねじ技術をモノキャリアへ展開し、循環方式をチューブ式からエンドデフレクタ式へ変更しました。その結果、許容回転数は5,000 min-1に向上し、30mmの超大リードの採用とあいまって、送り速度2,500mm/秒を実現しました。この送り速度はボールねじ駆動一軸アクチュエータでは最速*となります。

* 2008年4月15日現在 NSK調べ

静音
エンドデフレクタ式と超大リード精密ボールねじの採用により、従来品に比べ、同じ送り速度では約8dBの静音化を実現しています。
低発塵
超大リード精密ボールねじを採用することにより、従来品に比べ、同じ送り速度では発塵量が1/4に低減しています。また、低発塵グリース「NSK LG2グリース」を用いることにより、更なる低発塵化が可能となります。

【製品の背景】

NSKモノキャリアは、開発当時からリードのバリエーションとして5mm、10mm、20mmを設定し、主に半導体・液晶製造装置メーカに製品を納入してきました。昨今、高速化や低発塵の要求が一段と高まる中、長年培ってきたボールねじ技術をNSKモノキャリアに適用した「超大リード静音MCMシリーズ」を今回商品化します。

NSKは今後も多くの産業に向けて、高速・静音技術を活かしたソリューションを提供してまいります。

モノキャリアとは?
超大リード静音MCMシリーズ
特長