ESA軸受は”オーステナイト系ステンレス+表面硬化層”の組み合わせにより高硬度、高耐食、非磁性を実現した軸受です。
大気~真空の耐食環境および非磁性環境に適します。
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プレスリリース
2003年09月09日
日本精工株式会社 CSR本部 広報部
ESA軸受は”オーステナイト系ステンレス+表面硬化層”の組み合わせにより高硬度、高耐食、非磁性を実現した軸受です。
大気~真空の耐食環境および非磁性環境に適します。
構造 | 開放形のみ | |
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仕様 | 外内輪 | オーステナイト系ステンレス鋼+表面硬化層 |
玉 | 窒化ケイ素セラミックス | |
保持器 | ふっ素樹脂 | |
潤滑 | 固体潤滑 |
耐食環境 / 洗浄機(エッチング装置以外)、非磁性環境 / 電子ビーム描画装置、電子ビーム露光機、検査機