ESA軸受は”オーステナイト系ステンレス＋表面硬化層”の組み合わせにより高硬度、高耐食、非磁性を実現した軸受です。
大気～真空の耐食環境および非磁性環境に適します。
Global
ASEAN and Oceania
Middle East
Africa
プレスリリース
2003年09月09日
日本精工株式会社 CSR本部 広報部
高耐食・非磁性ステンレスESA軸受
特長
- ふっ素系固体潤滑(グリースフリー)
- 高硬度・高耐食のステンレスSUS440Cより高耐食、高耐食
製品仕様
| 構造 | 開放形のみ | |
|---|---|---|
| 仕様 | 外内輪 | オーステナイト系ステンレス鋼＋表面硬化層 |
| 玉 | 窒化ケイ素セラミックス | |
| 保持器 | ふっ素樹脂 | |
| 潤滑 | 固体潤滑 | |
用途
耐食環境 / 洗浄機(エッチング装置以外)、非磁性環境 / 電子ビーム描画装置、電子ビーム露光機、検査機