진공 환경용 베어링
개요
진공 환경용 베어링은 NSK 특수 환경용 베어링 SPACEA 시리즈의 기본 제품으로, '부식 환경', '클린 환경', '고온 환경'에 대응하는 제품이 있습니다.
제품 목록
스테인리스 베어링에 불소계 클린 그리스 FG9을 봉입한 베어링입니다. 대기 및 진공 상태의 클린 환경에 적합합니다.
특징
- 그리스의 비산, 발진이 적습니다.
- 내열성이 우수합니다.
용도 예
- 반도체 제조 장치
- 유기 EL 제조 장치
하이브리드 베어링은 세라믹볼과 불소계 자기 윤활 케이지를 조합한 베어링으로, 대기 및 진공 상태의 부식 환경에 적합합니다.
특징
- 그리스를 사용하지 않습니다.
- 불소계 케이지에 의한 고체 윤활을 적용합니다.
용도 예
- 진공 반송 장치
- 검사 장치
DFO 베어링은 내륜, 외륜, 볼, 케이지에 저증기압 탄화수소 코팅막(E-DFO)과 불소유 코팅막(V-DFO)을 형성하여, 청정 및 장수명 특성을 갖춘 새로운 개념의 베어링입니다. 대기 및 진공 상태의 클린 환경에 적합합니다.
특징
- 클린 그리스보다 더욱 발진이 적습니다.
- 가스 발생이 적습니다.
용도 예
- 반도체 제조 장치
- 유기 EL 제조 장치
YS타입 고온용 베어링은 전동체 사이에 합금계 자기 윤활 소재(소결 합금)의 스페이서를 적용한 베어링입니다. 진공 및 고온 환경에 적합합니다.
특징
- 진공 상태에서 350℃까지의 고온 환경에 대응합니다.
- 고체 윤활제 스페이서의 윤활 작용에 의해 장수명입니다.
용도 예
- 이온 주입 장치
- 스퍼터 장치
고온용 SJ타입 베어링은 케이지의 1개 포켓 안의 2개 전동체 사이에 고체 윤활제 스페이서 1개를 배치한 “완두콩 꼬투리” 구조의 베어링입니다. 진공 및 고온 환경에 적합합니다.
특징
- 진공 및 대기 상태에서 400℃까지의 고온 환경에 대응합니다.
- 고체 윤활제 스페이서의 윤활 작용을 케이지로 유지하는 구조를 적용하여, 수명이 향상되었습니다.
용도 예
- 로내 반송 장치
- 필름 제조 고온 장치
외륜, 내륜, 볼을 세라믹 소재로 제작하고, 불소계 자기 윤활 케이지를 적용하여 윤활 기능을 부여한 베어링입니다. 대기 및 진공 상태의 부식 환경 및 비자성 환경에 적합합니다.
특징
- 가장 내식성이 우수하며, 비자성입니다
- 내마모성이 우수하며, 장수명입니다.
용도 예
- 반도체 제조 장치
- 유기 EL 제조 장치
자주 묻는 질문(FAQ)
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카탈로그
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