NSK VIRTUAL EXPO（半導体部門）

アクティブキャスタPalGo™ 低床タイプ

低床でパワフルな全方向移動電動キャスタユニット。なめらかな全方向移動でロボットの動きを効率化。

半導体製造・精密計測装置に要求されるサブミクロンの精度を確実に支える。

エアスライドとリニアガイドのハイブリッド構造！性能・コストを最適化した高精度XY テーブル。

半導体, FPD 製造装置に要求される高真空環境・クリーン環境に対応可能。

高剛性・高速回転でウエーハの高効率加工に貢献。

AIと独自の診断技術で、設備の異常を早期に検知。
予知保全により、設備の安定稼働と保全業務の効率化を実現します。

省フットプリントな昇降- 回転アクチュエータ　昇降/ 回転機構とブレーキ、防水構造全てを一軸上に配置。

EtherCAT 対応ドライバを販売開始。モータの位置検出器を高分解能化。より精密な位置決めに貢献。

「Beyond 2nm」を見据えた超低発塵シリーズ。ボールねじ・リニアガイド！

２倍寿命が切り開く、さらなる安定稼働と省スペース化。スムースな作動特性により装置の滑らかな動きを実現。

真空環境、クリーン環境、腐食環境、高温環境に対応するNSK 独自のソリューション。