NSK VIRTUAL EXPO（面向半导体）

ActiveCaster PalGo™ 低高版

低身高，大动力的全方向电动车轮单元平滑的全方向运动性实现高效的机器人运动

忠实实现半导体制造・精密测量装置中所要求的准纳米级精度

静压空气导轨与滚动导轨的混合！性能・成本最优化的高精度XY 运动台

半导体， FPD 制造装置要求的高真空环境・清洁环境均可对应

高刚性・高转速，为晶圆的高效加工做出贡献

节省空间的升降- 旋转执行器　薄型DD 马达的产品线扩充

开售EtherCAT 对应驱动器。马达位置传感器的高分辨率化。为设备的精密定位做出贡献。

迈向 Beyond 2nm，追求极致洁净环境超低发尘系列——滚珠丝杠・直线导轨！

２倍寿命所带来的、更稳定的稼动和空间上的节约。顺畅的运行性实现装置的平滑运动

应用在真空工况、洁净工况、腐蚀工况、高温工况下，NSK 特有的解决方案