特點
各類產業機械為實現大量生產、提高性能的目的，以大容量化、小型輕量化（微型化）、高精度化、高速化等為開發目標。特別在半導體製造設備中，隨半導體的發展對開發速度也提出了要求。為了解決各類問題，逐漸開發了滿足各自用途的導引裝置。甚至在半導體製造設備中，特別要求低發塵（潤滑脂）、長壽命（免維護）這樣的性能。NSK將實現了高精度・清潔 ・免維護的非接觸式直驅滑動進行了商品化。
【用途】
- 半導體相關的製造・檢測裝置（薄晶片、薄膜）
- 液晶相關的製造・檢測裝置（彩色膠片、薄膜）
- 磁片・光碟相關的製造・檢測裝置
- 精密細微加工機械
- 各類檢測裝置
1. 使用DC無刷線性馬達實現高運動精度
通過使用無齒槽DC無刷線性馬達實現高運動精度。
2. 非接觸式導引有效降低變速起伏
由於非接觸式導引的空氣滑塊使變速起伏降低。
3. 實現低發塵・免維護
採用空氣滑塊的非接觸式引導和無刷線性馬達，獲得完全非接觸式的運動實現了低發塵・免維護。
4. 結構部件的精度壽命長
結構部件均採用全陶瓷，實現了長精度壽命。
5. 採用混合軸承構造實現薄型輕量化
靜壓多孔質的浮力與永磁體的吸引力之間取得平衡的混合軸承構造實現了輕量薄型化。