高機能精密位置決めテーブルを開発

~「SEMICON Japan 2015」に出展~

高精度 垂直軸テーブル

日本精工株式会社(本社:東京都品川区、取締役代表執行役社長内山俊弘、以下NSK)は、12月16日(水)~12月18日(金)に東京ビッグサイト(東京都江東区有明)で開催される「SEMICON Japan 2015」に出展します。
次世代半導体製造装置の要求に対応する高精度垂直軸テーブルを開発し出展します。また市場で好評いただいているエアスライド、真空環境用位置決めテーブルも出展します。

開発の背景

スマートフォンやタブレット端末に使用される電子部品は、小型化・微細化・三次元化に応じて生産設備の高度化が進んでおり、そこに使用される位置決めテーブルは高機能化・高精度化が求められています。
これまでNSKは、位置決めテーブルの高度化に必要な要素部品を開発してきました。

  • 「高速・静音&静音IIボールねじ」、「高機能ボールねじ」、「L1シール付・ボールねじ」
  • NSKリニアガイド™「NHシリーズ」「NSシリーズ」
  • 高機能標準軸受「NSKHPS」

高精度垂直軸テーブルの特長

  • 垂直案内に空気軸受を採用し、真直度の再現性±0.1㎛以下を実現*1
  • 新開発の自重キャンセル機構により、駆動モータの小型化を実現(50%以下)
  • ISO規格最高のクラス1相当のクリーン対応*2
  • くさび機構により垂直方向の高精度位置決めが可能

*1:0.1㎛とは1/10,000mm

*2:ISOクラス1とは1立方メートル中に0.1μm粒子が10個以下

NSK 精密位置決めテーブルのラインナップ
垂直軸テーブルの比較
次世代向け開発品の高精度 垂直軸テーブル

今後も、NSKは様々なニーズにお応えするソリューションを提供してまいります。また、より環境に優しい産業機械分野の発展に貢献してまいります。

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