クリーン環境用高速直動アクチュエータの販売を開始

NSKは、半導体製造工程などのクリーン環境下における搬送向けに高速駆動を可能にしたクリーン環境用高速直動アクチュエータを開発、販売を開始します。

クリーン環境用高速直動アクチュエータ

半導体、HDD、液晶、医療・バイオ関連、食品、医薬品等の製造プロセスには、ホコリやチリのないクリーン環境が必要不可欠です。そのため従来のアクチュエータは、駆動部分をカバーリングし、カバー内部を吸気することにより発塵を抑えています。搬送効率の向上や小型化などの市場ニーズに対応するため、本製品では新たに吸気構造を開発しました。これにより、アクチュエータを高速で駆動させることに成功し、クリーン環境用高速直動アクチュエータとして商品化しました。

【製品の特長】

クリーン環境用BSアクチュエータで最高速の駆動を実現
弊社従来製品(ロボットモジュール)で実績のある可動式シールベルト構造(NSK特許)を改良し、新たな吸気構造(特許出願中)を加え、高速クリーンな性能を達成しました。
クラス10*1の環境において、業界最高速*2の1,200mm/s(ロボットモジュールの3倍の速度)の駆動を可能にしました。
コンパクト化と負荷容量アップに成功
稼動部分を支えるリニアガイドの構造を最適化し、弊社従来品より、15%の小型化を達成すると共に、負荷容量も50%アップしました。

*1 クラス10: 粒子径0.3ミクロン以上の塵が1立方フィートの空気中に30個以下

*2 2006年4月12日現在、日本精工調べ

NSKは、クリーン環境用高速直動アクチュエータを2006年8月より販売開始し、2007年は4億円の売り上げを目指します。
 なお、本製品は、4月19日(水)から21日(木)まで開催される「第15回 モ-ション・エンジニアリング展」(幕張メッセ)、及び「第16回 ファインテック・ジャパン」(東京ビッグサイト)に出展します。

新製品の特長 (1)
新製品の特長 (2)

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