真空クリーン環境用高清浄度軸受を量産化

NSKは、半導体ウェハ搬送ロボット向けに「真空クリーン環境用高清浄度軸受」を開発し、2006年4月より量産化いたします。

真空クリーン環境用高清浄度軸受

真空搬送ロボットの胴体部およびアーム関節部には、薄肉の軸受が使用されています。半導体の高密度化による高真空化が進むにつれて、軸受に対しても、よりクリーンな性能(低アウトガス)や清浄度の向上が必須となっています。半導体の加工工程は高温化の傾向にあり、軸受の温度も100~150℃と高くなり、より優れた耐久性能が求められています。

【製品の特長】

真空クリーン環境用高清浄度軸受は半導体製造の成膜工程での歩留まり向上に寄与いたします。

  • 軸受に付着している残留有機物(油分)の大幅な削減により、アウトガスを従来軸受の約5分の1に削減
  • 耐熱性が150℃まで、耐久性が5倍に向上

本製品には超純水を使用した精密洗浄を実施し、乾燥・組立・包装に至るまでの超クリーン精密工程を確立し、専用のエクストラクリーンパッケージを採用しています。また、NSKクリーン潤滑剤E-DFOの技術を活用しています。

2006年4月から真空クリーン環境用高清浄度軸受として、アンギュラ玉軸受(NBAタイプ)、4点接触玉軸受(NBXタイプ)、ラジアル玉軸受(NBCタイプ)を量産化致します。2006年には4億円、2007年は10億円の売り上げを目指します。

本製品を12月7日から開催されるセミコン・ジャパン2005に出品いたします。

半導体搬送ロボット用軸受の要求性能
アウトガス対策
開発品 高清浄度軸受のアウトガス評価
開発品 高清浄度軸受の耐久性評価

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