環境対応型 ボールねじ・リニアガイドを商品化

~ クロムフリー表面処理技術を直動製品に初の実用化 ~

NSKは、クロムフリー表面処理を施したボールねじ・リニアガイドの販売を開始します。

環境対応型 ボールねじ・リニアガイド

直動製品では初のクロムフリー表面処理を施したボールねじ・リニアガイドは、化学反応により母材に化成処理膜を生成した後、フッ素樹脂コーティングを施しています。

半導体・液晶製造の設備や産業用ロボットに多く使用されているボールねじやリニアガイドは、薬品を使用した洗浄処理などの使用環境が多く、錆や薬品に対する耐性が必要とされています。近年ではRoHS指令等の環境規則に対応し、製品そのものに加えて、処理工程においても環境負荷物質を使用しない製品へのニーズが高まっています。

【製品の特長】

環境を考慮したクロムフリー表面処理技術の採用

半導体製造設備等に使用されるボールねじやリニアガイドには、従来、低温クロムめっき処理・フッ化低温クロムめっき処理が施されています。

これらの技術は、RoHS指令に対応していますが、防錆能力を発揮させるため、処理工程内においてクロム酸*が使用されていると言われています。

本製品は、クロム酸を使用しておらず(クロムフリー)、RoHS指令の基準を上回る環境対応型製品として開発されています。

* クロム酸は環境負荷物質である6価クロムを含有

2重コーティング技術の開発により錆、薬品への耐性が向上

化成処理膜とフッ素樹脂の2重のコーティングを施し、腐食を防ぎます。

このコーティングは酸やアルカリに対して強く、従来処理と同等以上の防錆能力・耐薬品性を達成しています。

【主な用途例】

半導体・液晶製造設備:
ウエハ製造装置、ガラス基盤搬送装置、CMP装置、ダイサー、ボンダー、マウンター等
その他:
産業用ロボット、搬送設備等

クロムフリー表面処理を施したボールねじ・リニアガイドは、スペーシア™耐食環境用シリーズとして2006年2月から販売予定で2009年には販売目標30億円を目指します。

NSKは、この環境対応型ボールねじ・リニアガイドを、2005年12月7日から9日まで幕張メッセで開催される「セミコン・ジャパン2005」に出展致します。

表面処理仕様

クロムフリー表面処理を実施

防錆能力

温潤耐食試験結果

耐薬品性

耐薬品性試験結果(酸・アルカリ溶液への浸漬)

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