超高精度NSKリニアガイド「ハイアキュラシーシリーズ HSタイプ」の販売を開始

~ 超長形スライダーの採用により、リニアガイドの運動精度を3倍向上することに成功 精密測定器や各種半導体・液晶製造装置向けに販売 ~

NSKは,超高精度転がり案内NSKリニアガイド「ハイアキュラシーシリーズ HSタイプ」(特許出願中)を開発、販売を開始します。

超高精度NSKリニアガイド「ハイアキュラシーシリーズ HSタイプ」

「ハイアキュラシーシリーズ HSタイプ」の大きな特長は、従来品に対し2倍以上の長さとした超長形スライダにあり、運動精度に影響を及ぼす転動体通過振動を従来に比べて1/3に低減しました。

転動体通過振動は、転動体(ボール、ローラ)の循環に伴うスライダの姿勢変化であり、リニアガイドの構造上避けられないものです。そのため、特に高精度が必要とされる用途では、転動体通過振動による周期的な運動精度誤差が問題となることがあり、従来そのような用途ではエアスライドや滑り案内が使用されてきました。

しかしながら、エアスライドは剛性が低く高価格であること、滑り案内は高速性に劣り保守が面倒であることなどの問題があり、市場からはリニアガイドに対して運動精度の向上が求められていました。

NSKはこれまでに、工作機械向けのハイアキュラシーシリーズ HAタイプを開発し販売を行ってきましたが、今回さらに3次元測定機などの精密測定機や各種半導体・液晶製造装置など向けに低摩擦力とコンパクト性(断面形状)を重視したHSタイプの販売を開始します。

ハイアキュラシーシリーズ HSタイプの特長は次のとおりです。

【特長】

(1)転動体通過振動の低減による高い運動精度
スライダを超長形とし、転動体循環部を最適設計することにより、リニアガイドの運動精度に影響を及ぼす転動体通過振動を従来品に比べて1/3に低減し高い運動精度を実現しました。
(2)レール取付け真直性の向上による高い運動精度
レール取付け穴のザグリ深さを最適にすることにより機台取付け時のボルトの締付けによるレールの変形を1/2以下に低減しました。加えて機台にレールの曲がりを抑えた取付けを行えるように、取付け穴ピッチを従来の半分の長さとしてレールの取付け真直性を向上させました。
これにより高い運動精度を実現しました。
(3)高剛性、高負荷容量、低摩擦
鋼球数の大幅アップにより、低摩擦でありながら高剛性・高負荷容量を実現しています。
(4)高耐食性
耐食性の高いステンレス品も用意しており用途に合わせて選択が可能です。

【用途例】

リニアコーター、ダイサー、スライサー、精密測定機、液晶リペアー装置、プラスチック加工機、スライサー、その他精密テーブルなど。

ハイアキュラシーシリーズ HSタイプは、HS15・20・25・30・35(数字はおおよその案内レール幅寸法に相当)の5型番を発売し、2007年度に4億円の販売を目指します。

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