真空クリーン用 Nシリーズ薄肉ベアリングを開発

真空クリーン用Nシリーズ薄肉ベアリング

NSKは、クリーン環境、真空環境、耐食環境などで使用できる特殊環境用の軸受・直動製品を「スペーシアシリーズ」として、液晶パネル・半導体製造装置、真空機器、食品機械などの産業分野に積極的に展開しています。

今回NSKは、半導体製造装置の真空搬送ロボットに最適な「真空クリーン用Nシリーズ薄肉ベアリング」を開発し、スペーシアシリーズに追加しました。

真空搬送ロボットの胴体部およびアーム関節部には、薄肉の軸受が使用されています。

従来、これらの軸受には真空用のグリースが封入されています。しかしながら、最近半導体の高密度化に伴う高真空化が進むなかで、これらの軸受に対して、よりクリーンな性能(低アウトガス、低発塵)が求められるようになってきました。

これらの要望に応えるべく開発された「真空クリーン用Nシリーズ薄肉ベアリング」は、以下のような特長を持っています。

  1. NSK独自開発のクリーンで長寿命な潤滑剤(V-DFO)をさらに改良してコーティングしました。
    その結果、
    • 高真空グリース封入品に比較して、1/3以下の低アウトガスを実現
    • ふっ素樹脂被膜品に比べ、20倍の耐久性実現
  2. 保持器に低アウトガス・高温対応の樹脂を採用し、従来の金属製保持器の摩耗による潤滑剤劣化の解消
  3. ボールは、高耐久性窒化けい素ボールを採用し、薄膜潤滑下での耐久性を向上
  4. 外・内輪には、従来のステンレス鋼(SUS440C)に比べて10倍の耐食性を持つNSK独自開発のステンレス鋼(ES1)を採用

NSKは、今回開発した「真空クリーン用Nシリーズ薄肉ベアリング」を、まず4点接触形の玉軸受NBXタイプからシリーズ化(来年3月末)し、次いでアンギュラ形の玉軸受NBAタイプに展開する予定(来年9月末)です。
内径寸法は25mmから210mmであり、幅寸法は4, 6, 7mmの3種類です。

スペーシアシリーズは、材料、潤滑、表面処理などの独自技術を取り入れて、その性能を格段に向上させ、あらゆる環境に対応可能な製品を品揃えしています。昨年度、特に非磁性・クリーン・耐食環境に対して他社を凌駕する製品開発を行い、他社の追随を許さない特殊環境用新製品群を拡充しました。

NSKは、次世代の液晶パネル・半導体製造装置、真空機器、食品機械などの技術動向を先取りし、独自の技術(スペーシア技術)を盛込み、世界トップの機能を有するスペーシアシリーズを今後も積極的に開発し、2006年度60億円の売上を目標とし、特殊環境用途転がり製品でのリーディングカンパニーとしての地位を確保いたします。

 

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