高耐食・非磁性ステンレスESA軸受

ESA軸受は”オーステナイト系ステンレス+表面硬化層”の組み合わせにより高硬度、高耐食、非磁性を実現した軸受です。

大気~真空の耐食環境および非磁性環境に適します。

高耐食・非磁性ステンレスESA軸受の使用環境

特長

  • ふっ素系固体潤滑(グリースフリー)
  • 高硬度・高耐食のステンレスSUS440Cより高耐食、高耐食

製品仕様

高耐食・非磁性ステンレスESA軸受
高耐食・非磁性ステンレスESA軸受の内外輪:表面硬化層
構造 開放形のみ
仕様 外内輪 オーステナイト系ステンレス鋼+表面硬化層
窒化ケイ素セラミックス
保持器 ふっ素樹脂
潤滑 固体潤滑

 

用途

耐食環境 / 洗浄機(エッチング装置以外)、非磁性環境 / 電子ビーム描画装置、電子ビーム露光機、検査機

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